开放式光栅尺是基于光栅的光学原理来实现位移测量的。其主要由标尺光栅、指示光栅、光源和光电检测装置等部分组成。当光源发出的光照射到标尺光栅上时,由于光栅上刻有规则的条纹,光线会在条纹处发生衍射和透射。而指示光栅与标尺光栅相对放置且两者之间存在一个很小的夹角。当这两部分光栅叠加时,就会产生莫尔条纹现象。莫尔条纹是一种明暗相间的条纹图案,其间距远大于光栅本身的条纹间距,这使得对微小位移的测量变得更加容易。
随着被测物体的移动,标尺光栅相对于指示光栅产生位移,莫尔条纹也会相应地发生移动。光电检测装置会检测到莫尔条纹的变化,并将其转化为电信号。这个电信号的变化规律与被测物体的位移量之间存在着确定的对应关系。通过对电信号进行处理,例如经过模数转换等操作,就可以准确地得到被测物体的位移数值。
开放式光栅尺优点:
(一)高精度测量
1.莫尔条纹的放大作用:如上述工作原理中提到的,莫尔条纹的间距远大于光栅本身的条纹间距。这种放大作用使得即使是微小的位移,也能引起莫尔条纹明显的移动,从而提高了测量的精度。例如在精密机床加工中,对于微米甚至纳米级别的位移变化,能够准确地捕捉并测量。
2.高分辨率:分辨率可以达到非常高的水平,能够满足对高精度测量的需求。在一些对精度要求高的科研实验和精密制造领域,如半导体芯片制造、光学器件加工等,开放式光栅尺的高精度测量能力可以确保产品质量和工艺的准确性。
(二)非接触式测量
1.避免磨损:与一些接触式测量工具不同,采用光学原理进行非接触式测量。这意味着在测量过程中,不会因为测量头与被测物体之间的物理接触而产生磨损,从而延长了光栅尺的使用寿命,尤其适用于对被测物体表面精度要求高、不能承受磨损的场合,如高精度光学镜片的加工测量。
2.减少干扰:非接触式测量方式也减少了因接触而产生的摩擦力、振动等因素对测量结果的影响,提高了测量的稳定性和可靠性。在高速运动的测量场景中,如数控机床的快速进给运动测量,这种非接触式的优势更加明显。
(三)响应速度快
1.光学信号传输迅速:由于光的传播速度快,在检测到位移变化后,能够迅速地将光信号转化为电信号,并及时输出测量结果。这使得它在实时性要求较高的应用中表现出色,例如在自动化生产线上,对于高速运动的工件进行实时位置监测和反馈控制,能够快速准确地提供位移信息,保证生产过程的高效进行。
2.适合动态测量:在动态测量环境下,如振动测试、高速运动的物体跟踪等,开放式光栅尺的快速响应能力可以有效地捕捉到物体的瞬时位移变化,为后续的数据分析和处理提供了准确的依据。
(四)安装方便
1.结构相对简单:开放式光栅尺的结构没有复杂的机械传动部件或密封结构,相比于一些封闭式的光栅尺或其他类型的位移传感器,其安装过程更加简便。只需要将标尺光栅安装在被测物体上,指示光栅和光电检测装置安装在相应的固定位置,并保证两者之间的正确对位即可。
2.对安装环境要求相对较低:虽然对环境中的灰尘、油污等污染物比较敏感,但在一般的洁净工作环境中,其安装和维护相对容易。而且在一些需要对较大尺寸物体进行测量的场合,开放式光栅尺可以方便地进行安装和布局,不受太多空间限制。